電子級(4-(叔丁基)苯基)二苯基锍 1,1,3,3,3-五氟丙烷-1-磺酸鹽是一種特殊用途的光敏化合物，結(jié)合了锍陽離子的高光化學(xué)活性和五氟丙烷磺酸根的優(yōu)異化學(xué)穩(wěn)定性。其高純度和精細(xì)的分子設(shè)計，使其成為先進(jìn)半導(dǎo)體制造中光刻膠和其他光敏材料的重要組成部分。

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[物理性質(zhì)]

中文名稱：(4-(叔丁基)苯基)二苯基磺酸鹽1,1,3,3,3-五氟丙烷 -1-磺酸鹽

英文名稱：(4-(tert-butyl)phenyl)diphenylsulfonium,1,1,3,3,3-pentafluoropropane-1-sulfonate

分子式：C₂₅H₂₅F₅O₃S₂。

分子量：532.12 g/mol。

純度：≥99.9%，電子級標(biāo)準(zhǔn)。

溶解性：

（1）溶于常見有機(jī)溶劑，如丙酮、乙腈等。

（2）對水不溶，具有疏水性。

熱穩(wěn)定性：耐受高達(dá)250°C的高溫，無分解現(xiàn)象。

光敏性能：在深紫外光（DUV）和極紫外光（EUV）波長下具有高光活性。

[應(yīng)用領(lǐng)域]

先進(jìn)光刻膠技術(shù)

（1）作為光敏劑，提高DUV和EUV光刻膠的光解效率和顯影性能。

（2）增強(qiáng)光刻工藝中的分辨率和圖形精度。

半導(dǎo)體制造

（1）支持高精度微納米器件的圖形轉(zhuǎn)移。

（2）適用于化學(xué)放大型光刻膠，在高復(fù)雜性芯片制造中發(fā)揮作用。

新材料研發(fā)

（1）用于開發(fā)高性能光敏薄膜材料。

（2）適用于光電材料及高端顯示設(shè)備的精密制造。

優(yōu)勢

該產(chǎn)品結(jié)合了高純度、熱穩(wěn)定性和優(yōu)異的光敏性能，可顯著提升光刻膠的性能表現(xiàn)，是滿足半導(dǎo)體行業(yè)高精度制造需求的理想選擇。