電子級(4-叔丁基苯基)二苯基锍全氟丁磺酸鹽是一種專為光刻膠配方優化設計的高效光酸生成劑，具備優異的熱穩定性和光敏性。其獨特的分子結構保證了在極端加工環境下的化學穩定性和反應效率，適用于先進制程中的深紫外（DUV）和極紫外（EUV）光刻技術。該材料廣泛應用于半導體制造和精密電子領域，有助于實現更高的圖形分辨率和器件可靠性。

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【物理性質】

基本性質

（1）化學名稱：(4-叔丁基苯基)二苯基锍全氟丁磺酸鹽。

（2）分子式：C₂₆H₂₃F₉O₃S₂

（3）分子量：618.09 g/mol。

外觀與溶解性

（1）外觀：白色或淺黃色粉末。

（2）溶解性：易溶于極性有機溶劑，如甲醇、乙腈和二甲基亞砜（DMSO）。

熱穩定性與純度

（1）熱分解溫度：＞200℃，滿足高溫加工需求。

（2）純度：≥99.9%，符合電子級材料的質量要求。

【應用領域】

光刻膠技術

（1）用作深紫外（DUV）和極紫外（EUV）光刻膠中的光酸生成劑。

（2）提升光刻膠的感光效率和圖形轉移精度，支持先進制程。

半導體制造

（1）應用于高精度晶圓加工工藝，如先進邏輯芯片和存儲器制造。

（2）優化5nm及以下節點技術的圖形生成與分辨能力。

顯示技術與光電子領域

（1）在顯示面板制造中，用于提升微圖形生成質量。

（2）應用于高端光電子器件的生產，提升可靠性與性能表現。