Product Name | Triphenylsulfonium p-toluenesulfonate |
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CAS | 13891-29-7 |
ProductNum | YH68703 |
Formula | C25H22O3S2 |
MW | 434.57 |
Product Name | Triphenylsulfonium p-toluenesulfonate |
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CAS | 13891-29-7 |
ProductNum | YH68703 |
Formula | C25H22O3S2 |
MW | 434.57 |
電子級三苯基硫鎓對甲苯磺酸鹽是一種高純度、有機硫化物鹽類化合物,具有優異的光敏特性和化學穩定性,廣泛應用于微電子制造領域。該產品在光刻膠和光敏材料中作為關鍵添加劑,可顯著提高光敏性能和工藝穩定性,適用于先進半導體加工和顯示器制造工藝。其電子級純度保證了產品在高精度電子設備中的可靠性。
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【物理性質】
基本性質
(1)化學名稱:三苯基硫鎓對甲苯磺酸鹽
(2)分子式:C25H22O3S2
(3)分子量:434.57 g/mol。
外觀與溶解性
(1)外觀:白色至淡黃色晶體粉末。
(2)溶解性:易溶于常見極性溶劑,如甲醇、乙腈等。
熱穩定性與純度
(1)熱穩定性:耐高溫,分解溫度高于200℃。
(2)純度:≥99.5%,雜質含量極低,滿足電子級工藝需求。
【應用領域】
光刻膠制造
(1)作為光敏劑用于正型和負型光刻膠,提高光刻膠的光解速率和分辨率。
(2)支持深紫外光(DUV)和極紫外光(EUV)技術的精密光刻工藝。
電子材料添加劑
(1)用于制造高性能光敏涂層和掩膜材料。
(2)在印刷電路板和顯示器薄膜晶體管(TFT)工藝中優化性能表現。
其他高端應用
(1)適用于高分辨率顯示器、柔性電子設備和光電傳感器領域。
(2)在化學合成中作為光引發劑或催化劑,提高反應效率和選擇性。