Product Name | (4-(tert-butyl)phenyl)diphenylsulfoniumbis((perfluoroethyl)sulfonyl)amide |
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CAS | 0-0-YH84017 |
ProductNum | YH84017 |
Formula | C26H23F10NO4S3 |
MW | 699.06 |
Product Name | (4-(tert-butyl)phenyl)diphenylsulfoniumbis((perfluoroethyl)sulfonyl)amide |
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CAS | 0-0-YH84017 |
ProductNum | YH84017 |
Formula | C26H23F10NO4S3 |
MW | 699.06 |
電子級(4-(叔丁基)苯基)二苯基锍雙(全氟乙基磺酰基)酰胺是一種專用于微電子和半導體制造領域的高純化合物。它的锍基結構與全氟乙基磺酰基酰胺基團賦予其優異的化學穩定性、熱穩定性以及電化學性能,是先進光刻膠配方和其他高端工藝的關鍵材料之一。
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[基本信息]
英文名稱:(4-(tert-butyl)phenyl)diphenyl sulfonium bis((perfluoroethyl)sulfonyl)amide
中文名稱:(4-叔丁基苯基)二苯基锍雙(全氟乙基磺酰基)酰胺
分子式:C26H23F10NO4S3
分子量:699.06 g/mol
純度:≥99.9%,符合電子級材料要求,雜質含量極低。
溶解性:溶于極性有機溶劑如二氯甲烷、乙腈,不溶于水。
熱穩定性:可耐受高達300°C的高溫操作。
外觀:白色至淺黃色結晶粉末。
[應用領域]
光刻工藝
(1)作為光刻膠中的光敏組分,優化紫外和深紫外曝光的分辨率。
(2)增強顯影過程的靈敏度和清晰度。
蝕刻工藝
(1)在干法蝕刻中用作精密調整的輔助試劑,提高加工精度。
(2)適用于復雜結構的微圖形制造。
顯示和新能源
(1)在顯示器生產中,用于提升器件穩定性和顯示性能。
(2)作為特殊添加劑,用于提高光伏電池和儲能設備的轉換效率和壽命。
該產品憑借其獨特的化學特性和高純度優勢,成為半導體及微電子領域中關鍵的功能性材料,有助于推動先進制造技術的發展。