電子級二氟-(3-羥基-金剛烷-1-基甲氧基羰基)甲磺酸-(4-叔丁基苯基)二苯基锍鹽是一種高效光酸生成劑，專為高精度光刻工藝設計。該化合物具有優異的光敏性和化學穩定性，能夠在深紫外（DUV）和極紫外（EUV）光刻工藝中提供卓越的性能。其獨特的分子結構，結合金剛烷基與锍鹽功能團，確保高效的光反應與材料穩定性，適用于先進半導體與微納制造工藝。

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【物理性質】

基本性質

（1）化學名稱：二氟-(3-羥基-金剛烷-1-基甲氧基羰基)甲磺酸-(4-叔丁基苯基)二苯基锍鹽。

（2）分子式：C₃₅H₄₀F₂O₆S₂

（3）分子量：658.82 g/mol

外觀與溶解性

（1）外觀：白色或淺黃色結晶粉末。

（2）溶解性：易溶于常見有機溶劑，如甲醇、乙腈和丙酮，溶解性能優異。

熱穩定性與純度

（1）熱穩定性：在200℃以下保持良好的化學穩定性。

（2）純度：≥99.9%，符合電子級化學品要求，適配先進制造工藝。

【應用領域】

光刻膠材料

（1）作為DUV和EUV光刻膠的光酸生成劑，提高光刻分辨率和加工精度。

（2）適用于先進光刻工藝，助力高端芯片制造。

半導體制造

（1）在晶圓加工中提供高效的光敏反應，支持高精度的圖形轉移。

（2）適用于7nm及以下先進制程工藝。

光電子與顯示技術

（1）支持高分辨率顯示器制造的光刻需求，優化圖形精度。

（2）應用于光電子器件生產，提升器件性能與可靠性。