英文名稱 | triphenylsulfonium 3-(methacryloyloxy)propane-1-sulfonate |
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中文名稱 | 電子級 三苯基硫鎓 3-(甲基丙烯酰氧基)丙烷-1-磺酸酯 |
CAS號 | 201683-79-6 |
產品編號 | YH82049 |
分子式 | C25H26O5S2 |
分子量 | 470.12 |
英文名稱 | triphenylsulfonium 3-(methacryloyloxy)propane-1-sulfonate |
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中文名稱 | 電子級 三苯基硫鎓 3-(甲基丙烯酰氧基)丙烷-1-磺酸酯 |
CAS號 | 201683-79-6 |
產品編號 | YH82049 |
分子式 | C25H26O5S2 |
分子量 | 470.12 |
三苯基硫鎓 3-(甲基丙烯酰氧基)丙烷-1-磺酸酯是一種高純度的光敏化學品,廣泛應用于電子級光刻膠和光敏樹脂的配方中。該化合物具有良好的光反應性和化學穩定性,可滿足高分辨率光刻工藝對性能和純度的嚴格要求,適用于微電子和半導體制造領域的關鍵工藝環節。
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【物理性質】
基本性質
化學名稱:三苯基硫鎓 3-(甲基丙烯酰氧基)丙烷-1-磺酸酯
分子式:C25H26O5S2
分子量:470.12 g/mol
外觀:白色至淺黃色粉末或晶體
光敏特性
吸收波長范圍:320–400 nm,適用于紫外(UV)曝光工藝。
具有高效的光引發性能,能夠顯著提升光刻膠的感光效率。
穩定性與儲存條件
在干燥、避光環境中具有良好的化學穩定性。
建議儲存溫度:2–8°C,避免高溫和濕度。
【應用領域】
光刻膠材料
用作紫外光刻膠的光引發劑,提高光刻圖形的分辨率和清晰度。
在亞微米和納米級集成電路制造中應用廣泛。
光敏樹脂
用于生產高性能光敏樹脂,應用于涂料和膠黏劑等領域。
在紫外固化涂層技術中起到關鍵作用,確保高效固化和低殘留。
微電子和半導體制造
支持微機電系統(MEMS)、光電子器件和先進顯示面板的制造。
應用于先進封裝工藝,為提升集成電路性能提供支持。
【總結】
三苯基硫鎓 3-(甲基丙烯酰氧基)丙烷-1-磺酸酯以其高純度、優異的光敏特性和穩定性,成為高端光刻膠和光敏材料開發中的重要組成部分,為微電子和半導體行業的技術突破提供了重要助力。