電子級雙(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟-1-丁磺酸是一種高純度光敏化合物，廣泛應用于先進微電子和光刻材料中。其結(jié)構(gòu)中含有穩(wěn)定的碘鎓陽離子和全氟丁基磺酸陰離子，賦予了其優(yōu)異的光敏性和化學穩(wěn)定性。該產(chǎn)品主要用于深紫外（DUV）和極紫外（EUV）光刻膠，助力高精度光刻圖形的生成，適用于半導體和微納電子制造的先進工藝。

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【物理性質(zhì)】

基本性質(zhì)

（1）化學名稱：雙(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟-1-丁磺酸。

（2）分子式：C₂₄H₂₆F₉IO₃S

（3）分子量：692.414 g/mol

外觀與溶解性

（1）外觀：白色至淡黃色粉末或結(jié)晶體。

（2）溶解性：可溶于常見有機溶劑，如甲醇、乙腈和丙酮，微溶于水。

熱穩(wěn)定性與純度

（1）熱穩(wěn)定性：在200℃以下保持化學穩(wěn)定性。

（2）純度：≥99.9%，符合電子級材料的質(zhì)量要求。

【應用領(lǐng)域】

光刻膠材料

（1）作為深紫外（DUV）和極紫外（EUV）光刻膠中的光酸生成劑，提高光刻分辨率和加工精度。

（2）用于高端芯片制造中，支持先進工藝節(jié)點的生產(chǎn)。

微電子制造

（1）在晶圓加工環(huán)節(jié)提供高效的光敏功能，幫助實現(xiàn)高分辨率的圖形轉(zhuǎn)移。

（2）適用于多層膜結(jié)構(gòu)和微納器件的制作。

顯示與光電應用

（1）支持高分辨率顯示器單元的光刻工藝，提升顯示性能。

（2）應用于光電子器件制造，提高器件性能和可靠性。