英文名稱 | BIS -LRB-4-tert-butyl phenyl) iodide chloride |
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中文名稱 | 電子級 雙(4-叔丁基苯基)氯化碘鹽 |
CAS號 | 0-0-YH84024 |
產品編號 | YH84024 |
分子式 | C20H26ClI |
分子量 | 428.08 |
英文名稱 | BIS -LRB-4-tert-butyl phenyl) iodide chloride |
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中文名稱 | 電子級 雙(4-叔丁基苯基)氯化碘鹽 |
CAS號 | 0-0-YH84024 |
產品編號 | YH84024 |
分子式 | C20H26ClI |
分子量 | 428.08 |
電子級雙(4-叔丁基苯基)氯化碘鹽是一種高純度、特殊設計的有機化學品,廣泛應用于半導體制造和光刻工藝中。作為一種具有強烈電負性的化合物,雙(4-叔丁基苯基)氯化碘鹽可以作為高效的光酸生成劑,適用于先進的光刻膠配方。該化合物以其優異的光敏性能和化學穩定性,在微電子領域中發揮著至關重要的作用,特別是在高精度圖案轉移和微結構制造中。
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【基本性質】
化學名稱:雙(4-叔丁基苯基)氯化碘鹽
英文名稱: BIS -LRB-4-tert-butyl phenyl) iodide chloride
分子式:C20H26ClI
分子量:428.08
外觀:黃色至橙色固體
溶解性:可溶于有機溶劑如二甲基亞硫酰胺(DMSO)、N-甲基吡咯烷酮(NMP)等,溶解度較低于水
熔點:約150-160℃
分解溫度:>230℃
儲存條件:應存放在干燥、陰涼、避光環境中,避免溫度過高,推薦儲存溫度不超過25℃
【應用領域】
光刻膠材料
作為一種光酸生成劑,雙(4-叔丁基苯基)氯化碘鹽能夠在光照下釋放強酸,促進光刻膠的化學反應,優化圖案分辨率和分辨度。
(1)適用于先進半導體光刻膠配方,特別是用于KrF、ArF以及EUV光刻工藝。
(2)在高精度光刻過程中,提供優異的分辨率和圖案清晰度,滿足微小結構的制造需求。
半導體制造
在半導體制造過程中,該產品作為光刻膠的增感劑,能夠有效提高曝光靈敏度和圖案轉移的精度。
(1)通過提高光刻膠的反應性,提升圖案的精度和質量。
(2)在微米級及亞微米級的半導體工藝中,確保光刻過程中的細節精準無誤。
電子材料與功能涂層
該化合物還可以作為功能性涂層的催化劑或助劑,改善電子元件的表面性能和熱穩定性。
(1)在電子封裝領域,增強材料的耐熱性和抗氧化性,延長設備使用壽命。
(2)可用于電子器件的表面處理和功能化涂層,提供額外的光學穩定性和電氣性能