電子級(4-(叔丁基)苯基)二苯基锍 1,1,3,3,3-五氟丙烷-1-磺酸鹽是一種特殊用途的光敏化合物，結合了锍陽離子的高光化學活性和五氟丙烷磺酸根的優異化學穩定性。其高純度和精細的分子設計，使其成為先進半導體制造中光刻膠和其他光敏材料的重要組成部分。

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[物理性質]

中文名稱：(4-(叔丁基)苯基)二苯基磺酸鹽1,1,3,3,3-五氟丙烷 -1-磺酸鹽

英文名稱：(4-(tert-butyl)phenyl)diphenylsulfonium,1,1,3,3,3-pentafluoropropane-1-sulfonate

分子式：C₂₅H₂₅F₅O₃S₂。

分子量：532.12 g/mol。

純度：≥99.9%，電子級標準。

溶解性：

（1）溶于常見有機溶劑，如丙酮、乙腈等。

（2）對水不溶，具有疏水性。

熱穩定性：耐受高達250°C的高溫，無分解現象。

光敏性能：在深紫外光（DUV）和極紫外光（EUV）波長下具有高光活性。

[應用領域]

先進光刻膠技術

（1）作為光敏劑，提高DUV和EUV光刻膠的光解效率和顯影性能。

（2）增強光刻工藝中的分辨率和圖形精度。

半導體制造

（1）支持高精度微納米器件的圖形轉移。

（2）適用于化學放大型光刻膠，在高復雜性芯片制造中發揮作用。

新材料研發

（1）用于開發高性能光敏薄膜材料。

（2）適用于光電材料及高端顯示設備的精密制造。

優勢

該產品結合了高純度、熱穩定性和優異的光敏性能，可顯著提升光刻膠的性能表現，是滿足半導體行業高精度制造需求的理想選擇。